Jau 1738. gadā Šveices zinātnieks Daniels Bernulli izmantoja diferenciālā spiediena metodi ūdens plūsmas mērīšanai, pamatojoties uz to, ko tagad sauc par Bernulli principu. Vēlāk Itālijas GB Venturi pētīja Venturi cauruļu izmantošanu plūsmas mērīšanai un publicēja savus atklājumus 1791. gadā.
1886. gadā amerikānis Klemenss Heršels izstrādāja praktisku ierīci ūdens plūsmas mērīšanai, pamatojoties uz Venturi cauruli.
No 20. gadsimta sākuma līdz vidum nobriedās esošie mērīšanas principi; pētnieki sāka skatīties tālāk par tradicionālajām metodēm un uzsāka jaunus izpētes ceļus.
Līdz 1930. gadiem bija parādījušās metodes šķidruma un gāzes plūsmas ātruma mērīšanai, izmantojot skaņas viļņus, lai gan pirms Otrā pasaules kara tika panākts neliels progress. Tikai 1955. gadā aviācijas degvielas plūsmas mērīšanai tika ieviests Maxson plūsmas mērītājs-, kas izmantoja akustiskās cirkulācijas metodi-.
Kopš 1960. gadiem plūsmas mērīšanas instrumenti sāka attīstīties uz lielāku precizitāti un miniaturizāciju.
Strauji attīstoties integrētās shēmas tehnoloģijai, plaši tika izmantoti ultraskaņas plūsmas mērītāji, kas ietver fāzes{0}}bloķētās cilpas (PLL) tehnoloģiju. Turklāt plašais mikrodatoru pielietojums ievērojami uzlaboja plūsmas mērīšanas iespējas; piemēram, mikrodatoru integrēšana lāzera Doplera ātruma mērītājos ļāva apstrādāt sarežģītus signālus.
